文章摘要:氮化硅（Si₃N₄）因具有耐高温、耐磨损、耐腐蚀、抗热震、抗氧化等优良性能，广泛应用于热交换器轴承、高温组件、发动机和燃气轮机等。氮化硅的制备方式有多种，目前工业大规模生产氮化硅最常用的是硅粉直接氮化。氮化硅具有α和β两种晶型，其中：α-Si₃N₄是低温亚稳定相；β-Si₃N₄是高温稳定相。因为α相和β相Si₃N₄以独立的机理形成，它们有各自的形成阶段和动力学定律。所以，此过程中温度、时间、添加剂等变量，会对α相和β相的含量造成不同程度的影响。该文献总结分析了硅粉直接氮化中各种变量对α-Si₃N₄和β-Si₃N₄形成机理的影响，并对其未来的研究方向进行了展望。

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论文DOI:10.13958/j.cnki.ztcg.2022.01.004

论文分类号:TQ127.2